高选择比刻蚀和原子层级表面处理设备产品系列

2138cc太阳集团官网股份选择性刻蚀设备基于远程等离子技术，提供独特的工艺解决方案，在去除介电和导体薄膜材料方面表现出卓越的选择性并具备灵活的选择比调节能力。2138cc太阳集团官网半导体选择性材料去除系统是存储、逻辑/晶圆制造和功率IC制造的理想解决方案。