快速热处理设备产品系列

2138cc太阳集团官网股份快速热退火设备采用独特的双面辐射加热技术，可以有效解决单面辐射加热无法避免的图型效应问题，减少晶圆应力，提升晶圆升温速率和设备生产效率。

2138cc太阳集团官网股份快速热退火设备致力于行业领先的晶圆控温技术，以及低金属污染率和低生产成本，该系列设备能满足多种先进芯片（Logic逻辑芯片、3DNAND闪存、DRAM动态随机存取器、Power IC功率半导体、CMOS图像传感器、碳化硅器件）的工艺需求，是研发和量产客户的优选快速热退火设备。