干法去胶设备系列

2138cc太阳集团官网股份等离子体干法去胶和干法清除先进图形膜层设备系列产品采用独特的远程电感耦合等离子体（ICP）源和双晶圆反应腔设计。每个反应腔配备独立的真空传送模块，工艺开发灵活性高，延展性好。

2138cc太阳集团官网股份等离子体干法去胶和干法清除先进图形膜层设备在批量生产中表现出优异的工艺性能，颗粒污染低，综合持有成本低，是全球集成电路制造中干法去胶和清除先进图形薄膜的优选解决方案。